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标题
Assessment of STI dry etch process variability by means of dynamic time warping technique
用动态时间规整技术评估STI干法蚀刻工艺的可变性
相关领域
薄脆饼 动态时间归整 过程（计算） 计算机科学 系列（地层学） 聚类分析 蚀刻（微加工） 沟槽 理论（学习稳定性） 材料科学 生物系统 算法 人工智能 光电子学 机器学习 纳米技术 地质学 古生物学 图层（电子） 生物 操作系统
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/acbbd6
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.35848/1347-4065/acbbd6 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Alexey Milenin; B. T. Chan; Frédéric Lazzarino
出版日期：2023-02-14
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芬里尔 在 2025-01-07 16:01:52 发布自上海，悬赏 10 积分
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