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 Synergistic effect of LABSA/JFCE combined surfactant system on the removal of particles on copper wafer surface LABSA/JFCE复合表面活性剂体系对铜片表面颗粒去除的协同效应
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期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Da Yin; Siyu Tian; Nannan Zhang; Qi Wang; Xiaoqin Sun; et al 出版日期：2020-09-18 |
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