Wet etching studies of aluminum nitride bulk crystals and their sublimation growth by microwaves

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标题	Wet etching studies of aluminum nitride bulk crystals and their sublimation growth by microwaves 氮化铝大块晶体的微波湿法刻蚀及其升华生长研究
网址	https://ui.adsabs.harvard.edu/abs/2004PhDT.......449Z/abstra...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	期刊：PhDT 作者：Dejin Zhuang 出版日期：2004-01-01
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