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 Erosion of focus rings in capacitively coupled plasma etching reactors 电容耦合等离子体刻蚀反应器中聚焦环的腐蚀
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Xifeng Wang; Hyunjae Lee; Sang Ki Nam; Mark J. Kushner 出版日期：2021-09-21 |
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