Super-polished aluminum mirrors through the application of chemical mechanical polishing techniques

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标题	Super-polished aluminum mirrors through the application of chemical mechanical polishing techniques 应用化学机械抛光技术实现铝镜的超抛光相关领域化学机械平面化抛光金刚石车削材料科学光学表面粗糙度研磨机械加工平坦度（宇宙学）制作钻石表面光洁度铝磨料光电子学复合材料冶金替代医学病理物理医学量子力学宇宙学
网址	https://doi.org/10.1117/12.681043
DOI	10.1117/12.681043 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Kevin Moeggenborg; Tamara Vincer; Stanley Lesiak; Roman Salij 出版日期：2006-08-31
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