Growth and characterization of TiAlN∕CrAlN superlattices prepared by reactive direct current magnetron sputtering

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标题	Growth and characterization of TiAlN∕CrAlN superlattices prepared by reactive direct current magnetron sputtering 反应直流磁控溅射TiAlN/CrAlN超晶格的生长与表征相关领域材料科学微观结构溅射沉积超晶格拉曼光谱 X射线光电子能谱扫描电子显微镜冶金溅射图层（电子）薄膜复合材料光电子学光学化学工程纳米技术物理工程类
网址	https://doi.org/10.1116/1.3013858
DOI	10.1116/1.3013858 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Harish C. Barshilia; B. Deepthi; K.S. Rajam; Kanwal Preet Bhatti; Sujeet Chaudhary 出版日期：2008-12-08
求助人	高健在 2025-03-29 22:05:20 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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