A Self-Corrected, Self-Cleaned MEMS and Suitable for Advanced Foundry Multi-Project Wafer (MPW)

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标题	A Self-Corrected, Self-Cleaned MEMS and Suitable for Advanced Foundry Multi-Project Wafer (MPW) 一种适用于先进代工多项目晶圆（MPW）的自校正、自清洁MEMS 相关领域咬边微电子机械系统材料科学薄脆饼蚀刻（微加工）制作光电子学纳米技术电子工程复合材料图层（电子）工程类医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1109/mems49605.2023.10052195
DOI	10.1109/mems49605.2023.10052195 doi
其它	期刊：作者：Sushil Kumar; Dhairya Singh Arya; Manu Garg; Pushpapraj Singh 出版日期：2023-01-15
求助人	junjun 在 2023-08-21 10:36:58 发布自江苏，悬赏 10 积分
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