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标题
Recent advances and challenges in the MOCVD growth of indium gallium nitride: A brief review
氮化铟镓的MOCVD生长研究进展与面临的挑战
相关领域
材料科学 铟镓氮化物 金属有机气相外延 氮化物 氮化铟 化学气相沉积 工程物理 纳米技术 光电子学 氮化镓 外延 冶金 工程类 图层(电子)
网址
DOI
10.1016/j.mssp.2022.106545 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Aik Kwan Tan; Nur Atiqah Hamzah; M.A. Ahmad; Sha Shiong Ng; Z. Hassan
出版日期:2022-06-01
求助人
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