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Stabilization of Tetragonal Phase in Hafnium Zirconium Oxide by Cation Doping for High-K Dielectric Insulators
阳离子掺杂稳定高K介质绝缘体铪锆氧化物中四方相
相关领域
材料科学
铪
锆
四方晶系
兴奋剂
电介质
相(物质)
氧化锆
无机化学
高-κ电介质
氧化物
冶金
光电子学
有机化学
化学
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DOI | |
其它 |
期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Jae Young Kim; Sung Hyuk Park; Yeong Jae Kim; Jaehyun Kim; Sung Kyun Choi; et al 出版日期:2024-10-24 |
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