High-aspect-ratio amorphous carbon mask etch profile control through plasma and surface chemistry optimization

已完结

文献求助详情

标题	High-aspect-ratio amorphous carbon mask etch profile control through plasma and surface chemistry optimization 通过等离子体和表面化学优化控制高纵横比非晶碳掩模刻蚀轮廓相关领域蚀刻（微加工）等离子体刻蚀材料科学无定形固体光电子学等离子体腐蚀坑密度化学纳米技术图层（电子）结晶学物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2657285
DOI	10.1117/12.2657285 doi
其它	期刊：作者：Du Zhang; Shih‐Sheng Chang; Pingshan Luan; Amrit Kaphle; Takeshi Hisamatsu; et al 出版日期：2023-05-01
求助人	Litoivda 在 2025-02-19 15:34:05 发布自上海，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

学术共进，科研互通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 无敌LI完成签到，获得积分10

刚刚; zongzi12138完成签到，获得积分0

1秒前; 滴滴嘟完成签到，获得积分10

1秒前; xueshidaheng发布了新的文献求助10

1秒前; 腼腆的傲薇完成签到，获得积分10

1秒前; 火火火小朋友完成签到，获得积分10

2秒前; kakaC完成签到，获得积分10

2秒前; 李健上传了应助文件

2秒前; Jnest完成签到，获得积分10

3秒前; 帅哥吴克完成签到，获得积分10

3秒前; 高兴的海亦发布了新的文献求助10

5秒前; wodel完成签到，获得积分10

5秒前; 木木小飞虫完成签到，获得积分10

6秒前; 轻松的晓凡上传了应助文件

6秒前; 不安雪一完成签到，获得积分10

7秒前; Yolo完成签到，获得积分10

7秒前; 段雁开完成签到，获得积分10

7秒前; 现代剑发布了新的文献求助10

7秒前; 江三村完成签到，获得积分10

7秒前; 荔枝多酚完成签到，获得积分10

7秒前; my123完成签到，获得积分10

8秒前; javeeen完成签到，获得积分10

8秒前; 风吹独自凉完成签到，获得积分10

8秒前; littleE完成签到，获得积分10

8秒前; css1997完成签到，获得积分10

10秒前; 英俊钢铁侠完成签到，获得积分10

11秒前; 许起眸完成签到，获得积分10

11秒前; Ava上传了应助文件

11秒前; prosperp举报大方蛟凤的求助涉嫌违规

12秒前; 彭于晏的应助被研究生小白采纳，获得10

12秒前; FB完成签到，获得积分10

12秒前; 高贵的迎蕾完成签到，获得积分10

13秒前; 卡里的乏味完成签到，获得积分10

13秒前; ccc完成签到，获得积分10

13秒前; ZG完成签到，获得积分10

13秒前; 杨无敌完成签到，获得积分10

13秒前; 毛豆的应助被木木小飞虫采纳，获得20

14秒前; 小土豆发布了新的文献求助10

14秒前; 彭于晏上传了应助文件

15秒前; 齐齐完成签到，获得积分10

15秒前