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标题
Growing low-temperature, high-quality silicon-dioxide films by neutral-beam enhanced atomic-layer deposition
中性束增强原子层沉积法生长低温高质量二氧化硅薄膜
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网址
https://doi.org/10.1088/1361-6463/ab484d
DOI
10.1088/1361-6463/ab484d doi
其它 期刊：Journal of Physics D
作者：Hua Hsuan Chen; Susumu Toko; Daisuke Ohori; Tomonobu Ozaki; Mitsuya Utsuno; et al
出版日期：2019-10-16
求助人
Yan 在 2024-12-17 11:34:50 发布自上海，悬赏 10 积分
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