Electrical conductivity enhancement of indium tin oxide (ITO) thin films reactively sputtered in a hydrogen plasma

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标题	Electrical conductivity enhancement of indium tin oxide (ITO) thin films reactively sputtered in a hydrogen plasma 氢等离子体反应溅射氧化铟锡(ITO)薄膜的导电性增强相关领域材料科学氧化铟锡氢电阻率和电导率薄膜铟溅射分析化学（期刊）电导率氧化物带隙光电子学化学纳米技术冶金物理化学有机化学工程类电气工程色谱法
网址	https://doi.org/10.1007/s10854-019-02813-9
DOI	10.1007/s10854-019-02813-9 doi
其它	期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics 作者：M.F. Al-Kuhaili 出版日期：2020-01-06
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