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标题
Unfolding an Elusive Area-Selective Deposition Process: Atomic Layer Deposition of TiO2 and TiON on SiN vs SiO2
展开一种难以捉摸的区域选择性沉积工艺:SiN与SiO2上TiO2和TiN的原子层沉积
相关领域
材料科学 原子层沉积 薄脆饼 升华(心理学) 纳米技术 扫描电子显微镜 制作 选择性 图层(电子) 选择性表面 沉积(地质) 化学工程 光电子学 有机化学 复合材料 冶金 化学 古生物学 沉积物 工程类 生物 医学 心理学 替代医学 病理 心理治疗师 催化作用
网址
DOI
10.1021/acsami.3c17917 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Alfredo Mameli; Kanda Tapily; Jie Shen; Fred Roozeboom; Mengcheng Lu; et al
出版日期:2024-03-06
求助人
George 在 2024-05-07 21:15:49 发布自广东,悬赏 10 积分
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