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Unfolding an Elusive Area-Selective Deposition Process: Atomic Layer Deposition of TiO2 and TiON on SiN vs SiO2
展开一种难以捉摸的区域选择性沉积工艺:SiN与SiO2上TiO2和TiN的原子层沉积
相关领域
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Alfredo Mameli; Kanda Tapily; Jie Shen; Fred Roozeboom; Mengcheng Lu; et al 出版日期:2024-03-06 |
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