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 Investigation of cluster magnetorheological electro-Fenton composite polishing process for single-crystal GaN wafer based on BBD experimental method 基于BBD实验方法的GaN单晶磁流变复合抛光工艺研究
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期刊：Smart Materials and Structures 作者：Qiongbin Zheng; Yusen Wu; Jisheng Pan; Min Xiang; Hao Wang; et al 出版日期：2024-02-12 |
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