Strategy for line width roughness (LWR) reduction in carbon mandrel patterning

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标题	Strategy for line width roughness (LWR) reduction in carbon mandrel patterning 降低碳心轴图案化中线宽粗糙度的策略相关领域心轴材料科学表面光洁度直线（几何图形）表面粗糙度固化（化学）纳米技术复合材料几何学数学
网址	https://doi.org/10.1109/cstic58779.2023.10219195
DOI	10.1109/cstic58779.2023.10219195 doi
其它	期刊：2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 作者：Yichang Liu; Qi Li; Litian Xu; Lianfu Zhao; Xingjun Yao; et al 出版日期：2023-06-26
求助人	Halo 在 2025-02-02 22:08:58 发布自湖北，悬赏 10 积分
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