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Simulation of dust particles in dual-frequency capacitively coupled silane discharges
双频电容耦合硅烷放电中尘埃粒子的模拟
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期刊:Physical Review E 作者:Xiangmei Liu; Yuan‐Hong Song; Xiang Xu; You‐Nian Wang 出版日期:2010-01-22 |
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