标题 |
Generation of high-density plasma via transparent electrode in capacitively coupled plasma
电容耦合等离子体中透明电极产生高密度等离子体
相关领域
电极
等离子体
材料科学
容性耦合等离子体
化学
光电子学
分析化学(期刊)
感应耦合等离子体
色谱法
量子力学
物理
物理化学
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