A review of MEMS-based metal oxide semiconductors gas sensor in Mainland China

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标题	A review of MEMS-based metal oxide semiconductors gas sensor in Mainland China 基于MEMS的金属氧化物半导体气体传感器研究进展相关领域微电子机械系统薄脆饼纳米技术材料科学氟利昂半导体电气工程工程类光电子学化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6439/ac5b98
DOI	10.1088/1361-6439/ac5b98 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Gaoqiang Niu; Fei Wang 出版日期：2022-03-08
求助人	清新的沛蓝在 2024-11-22 14:25:27 发布自中国，悬赏 10 积分
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