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Contact resistance: Al and Al–Si to diffused N+ and P+ silicon
接触电阻：Al和Al-Si对扩散的N+和P+硅
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欧姆接触 接触电阻 材料科学 硅 合金 铝 溅射沉积 溅射 兴奋剂 扩散阻挡层 冶金 扩散 沉积（地质） 复合材料 光电子学 薄膜 纳米技术 图层（电子） 古生物学 物理 热力学 生物 沉积物
网址
https://doi.org/10.1116/1.571943
DOI
10.1116/1.571943 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：T. J. Faith; R. S. Irven; S. K. Plante; J. J. O’Neill
出版日期：1983-04-01
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zhu 在 2024-12-19 11:24:43 发布自山东，悬赏 10 积分
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