Magnetron sputtering

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标题	Magnetron sputtering 磁控溅射相关领域阴极腔磁控管电离高功率脉冲磁控溅射等离子体工程物理光电子学半导体材料科学涂层沉积（地质）半导体器件制造电阻抗溅射沉积溅射原子物理学离子化学物理电气工程纳米技术工程类核物理学薄膜古生物学有机化学沉积物薄脆饼生物
网址	https://doi.org/10.1116/6.0000594
DOI	10.1116/6.0000594 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Stephen M. Rossnagel 出版日期：2020-12-01
求助人	坚强可仁在 2023-10-07 16:43:59 发布自北京，悬赏 10 积分
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