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标题
Internal Gettering of Copper for Microelectronic Applications
微电子应用中铜的内部吸气
相关领域
吸气剂 材料科学 微电子 薄脆饼 铜 杂质 污染 冶金 光电子学 化学 生态学 生物 有机化学
网址
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.242.236
DOI
10.4028/www.scientific.net/ssp.242.236 doi
其它 期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena
作者：G. Kissinger; Dawid Kot; Markus Andreas Schubert; A. Sattler; Timo Müller
出版日期：2015-10-23
求助人
Sober 在 2025-01-22 22:52:39 发布自安徽，悬赏 30 积分
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