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 Absorption coefficient of metal-containing photoresists in the extreme ultraviolet 含金属光致抗蚀剂的极紫外光吸收系数
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期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems 作者：Roberto Fallica; Jarich Haitjema; Lianjia Wu; Sonia Castellanos; Albert M. Brouwer; et al 出版日期：2018-05-10 |
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