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 Photolithographic realization of target nanostructures in 3D space by inverse design of phase modulation 相位调制逆设计实现三维空间目标纳米结构的光刻
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期刊：Science advances 作者：Sang‐Hyeon Nam; Myungjoon Kim; Nayoung Kim; Donghwi Cho; Myungwoo Choi; et al 出版日期：2022-05-27 |
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