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标题
Improvement of β-SiC Synthesis Technology on Silicon Substrate
硅衬底β-SiC合成工艺的改进
相关领域
碳化硅 材料科学 硅 基质（水族馆） 图层（电子） 化学工程 外延 纳米技术 晶体硅 光电子学 复合材料 海洋学 工程类 地质学
网址
https://www.mdpi.com/2227-7080/11/6/152/pdf?version=16984016...
DOI
10.3390/technologies11060152 doi
其它 期刊：Technologies
作者：Yana Suchikova; Сергій Ковачов; Ihor Bohdanov; Artem L. Kozlovskiy; Maxim V. Zdorovets; et al
出版日期：2023-10-27
求助人
张德庆 在 2024-09-07 14:58:34 发布自山东，悬赏 10 积分
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