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 Energy-loss mechanism of single-crystal silicon microcantilever due to surface defects generated during plasma processing 等离子体处理过程中产生的表面缺陷导致单晶硅微悬臂梁能量损失的机理
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Akira Wada; Yuuki Yanagisawa; Batnasan Altansukh; Tomohiro Kubota; Takahito Ono; et al 出版日期：2013-05-07 |
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