Recent progress of non-thermal plasma material surface treatment and functionalization

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标题	Recent progress of non-thermal plasma material surface treatment and functionalization 非热等离子体材料表面处理及功能化研究进展相关领域表面改性螺旋材料科学等离子体等离子清洗感应耦合等离子体等离子体刻蚀反应离子刻蚀电子回旋共振等离子炬化学工程蚀刻（微加工）等离子体处理纳米技术图层（电子）工程类物理量子力学
网址	https://doi.org/10.7498/aps.70.20202233
DOI	10.7498/aps.70.20202233 doi
其它	期刊：Acta Physica Sinica 作者：Zhang Hai-Bao; Chen Qiang 出版日期：2021-01-01
求助人	rs 在 2024-09-23 13:18:03 发布自福建，悬赏 10 积分
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