Approaches and opportunities for area-selective atomic layer deposition

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标题	Approaches and opportunities for area-selective atomic layer deposition 区域选择性原子层沉积的方法和机会相关领域原子层沉积制作图层（电子）沉积（地质）纳米技术计算机科学自上而下和自下而上的设计原子层外延材料科学工程物理工程类地质学医学软件工程病理古生物学替代医学沉积物
网址	https://doi.org/10.1109/vlsi-tsa.2018.8403864
DOI	10.1109/vlsi-tsa.2018.8403864 doi
其它	期刊：作者：Adriaan J. M. Mackus 出版日期：2018-04-01
求助人	罗霄山在 2024-09-15 21:29:42 发布自浙江，悬赏 10 积分
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