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Evolution of β-Ga2O3 to γ -Ga2O3 solid-solution epitaxial films after high-temperature annealing
高温退火后β-Ga2O3向γ-Ga2O3固溶体外延薄膜的演化
相关领域
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期刊:Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者:Kunyao Jiang; Jingyu Tang; Chengchao Xu; Keqin Xiao; R. F. Davis; et al 出版日期:2023-10-02 |
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