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 Effect of hydrogen flow rate on the plasma state and quality of diamond crystals grown by MPCVD 氢流量对MPCE生长金刚石晶体等离子体状态和质量的影响
相关领域
材料科学
钻石
等离子体
氢
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Caoyuan Mu; Genzhuang Li; Xianyi Lv; Shaoheng Cheng; Qiliang Wang; et al 出版日期：2025-01-01 |
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