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Influence of low temperature oxidation and nitrogen passivation on the MOS interface of C-face 4H-SiC
低温氧化和氮钝化对C面4H-SiC MOS界面的影响
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期刊:Applied surface science 作者:Kung‐Yen Lee; Y. H. Chang; Yan Huang; Shuen De Wu; Cheng Yueh Chung; et al 出版日期:2013-10-01 |
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