Advanced Quality Control (AQC) of Silicon Wafer Specifications for Yield Enhancement for Smart Manufacturing

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标题	Advanced Quality Control (AQC) of Silicon Wafer Specifications for Yield Enhancement for Smart Manufacturing 用于提高智能制造成品率的硅片规格的高级质量控制（AQC）相关领域薄脆饼半导体器件制造工程类制造工程可靠性工程集成电路质量（理念）半导体器件建模过程控制过程（计算）工艺工程计算机科学电子工程电气工程 CMOS芯片哲学认识论操作系统
网址	https://doi.org/10.1109/tsm.2020.3010200
DOI	10.1109/tsm.2020.3010200 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Chen‐Fu Chien; Yin-Hung Chen; Mei-Fang Lo 出版日期：2020-07-17
求助人	Lee 在 2025-03-13 09:42:31 发布自浙江，悬赏 10 积分
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