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 FlexDelta: A flexure-based fully decoupled parallel xyz positioning stage with a long stroke FlexDelta：基于flexure的长行程全解耦并联xyz定位平台
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期刊：Precision Engineering 作者：Qianjun Zhang; Wei Dong; Qingsong Xu; Bimal Jeet Goteea; Yongzhuo Gao 出版日期：2024-04-23 |
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