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FlexDelta: A flexure-based fully decoupled parallel xyz positioning stage with a long stroke

刚度 联轴节（管道） 跟踪（教育） 冲程（发动机） 千分尺 计算机科学 固有频率 声学 结构工程 模拟 物理 控制理论（社会学） 工程类 机械工程 光学 振动 人工智能 心理学 教育学 控制（管理）
作者
Qianjun Zhang,Wei Dong,Qingsong Xu,Bimal Jeet Goteea,Yongzhuo Gao
出处
期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier]
日期：2024-04-23 卷期号：88: 707-717 被引量：3
链接
arxiv.org arxiv.orgdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2024.04.019
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