Piezoelectric aluminum nitride thin-films: A review of wet and dry etching techniques

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标题	Piezoelectric aluminum nitride thin-films: A review of wet and dry etching techniques 压电氮化铝薄膜的湿法和干法刻蚀技术综述相关领域反应离子刻蚀材料科学干法蚀刻蚀刻（微加工）氢氧化铵微电子机械系统表面粗糙度氮化物咬边表面光洁度光电子学氢氧化钾感应耦合等离子体薄膜纳米技术复合材料图层（电子）等离子体化学工程化学无机化学工程类物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2022.111753
DOI	10.1016/j.mee.2022.111753 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Rui M.R. Pinto; Ved Gund; Carlos Calaza; K.K. Nagaraja; K.B. Vinayakumar 出版日期：2022-02-01
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