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 Multiphysics Coupling Model of Flexible Multisensor System Based on MEMS Beam Structure 基于MEMS梁结构的柔性多传感器系统多物理场耦合模型
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Lei Han; Ziyuan Wang; Xue Jiang; Jiawei Si; Chuyuan Gao 出版日期：2024-02-01 |
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