A Mems Vibrating Beam Accelerometer for High Resolution Seismometry and Gravimetry

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标题	A Mems Vibrating Beam Accelerometer for High Resolution Seismometry and Gravimetry 用于高分辨率地震重力测量的Mems振动梁加速度计相关领域加速度计重量分析法艾伦方差加速度微电子机械系统噪音（视频）梁（结构）动态范围声学物理计算机科学光学标准差数学光电子学人工智能量子力学经典力学统计图像（数学）干涉测量
网址	https://doi.org/10.1109/mems51782.2021.9375431
DOI	10.1109/mems51782.2021.9375431 doi
其它	期刊：作者：Guillermo Sobreviela-Falces; Milind Pandit; Arif Mustafazade; Chun Zhao; Callisto Pili; et al 出版日期：2021-01-25
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