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Performance Improvement by Blanket Boron Implant in the Sigma-Shaped Trench Before the Embedded SiGe Source/Drain Formation for 28-nm PMOSFET
28-nmPMOS嵌入式硅氧半导体源极/漏极形成之前,通过在Sigma形沟道中毯式注入B来提高性能
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Zhonghua Li; Run-Ling Li; Yu-Long Jiang; Yanwei Zhang; Yongfeng Cao; et al 出版日期:2020-06-01 |
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