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 Effect of post-release sidewall morphology on the fracture and fatigue properties of polycrystalline silicon structural films 脱模后侧壁形貌对多晶硅结构膜断裂和疲劳性能的影响
相关领域
材料科学
多晶硅
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硅
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Daan Hein Alsem; Brad Boyce; Christopher L. Muhlstein; Robert O. Ritchie 出版日期：2008-10-01 |
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