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 Impact of deposition temperature on crystalline quality, oxygen vacancy, defect modulations and hetero-interfacial properties of RF sputtered deposited Ga2O3 thin films on Si substrate 沉积温度对硅衬底射频溅射Ga2O3薄膜晶体质量、氧空位、缺陷调制和异质界面性质的影响
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期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：Rajib Saha; Sangita Bhowmick; Madhuri Mishra; Ankita Sengupta; Sanatan Chattopadhyay; et al 出版日期：2022-10-19 |
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