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 Electrical and physical characterizations of the effects of oxynitridation and wet oxidation at the interface of SiO2/4H-SiC(0001) and SiO2/4H-SiC（0001）界面氧氮化和湿氧化效应的电学和物理表征
相关领域
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生物化学
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Hiromu Shiomi; Hidenori Kitai; Masatoshi Tsujimura; Yuji Kiuchi; Daisuke Nakata; et al 出版日期：2016-03-29 |
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