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 Study of interferometric signal correction methods in ultra-precision displacement measurement 超精密位移测量中干涉信号校正方法的研究
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期刊：Measurement Science and Technology 作者：Zhangning Xie; Tao Jin; Lihua Lei; Zichao Lin; Yulin Yao; et al 出版日期：2023-12-28 |
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