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 Investigation of High Aspect Ratio Amorphous Carbon Etching in NAND Flash Memory NAND闪存中高纵横比非晶碳刻蚀的研究
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期刊： 作者：Li Zeng; Guang Yang; Zhongwei Jiang; Jing Wang; Li-Tian Xu 出版日期：2023-06-26 |
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