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 A MEMS-Based Three-Ring Capacitive Angular Position Sensor With an Absolute Zero Position Feature 基于MEMS的具有绝对零位置特性的三环电容角位置传感器
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期刊：IEEE Transactions on Industrial Electronics 作者：Jinxuan Xie; Tong Zhou; Xiaoshi Li; Yu Ze Chen; Tianyu Yang; et al 出版日期：2024-01-01 |
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