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 Overview of atomic layer etching in the semiconductor industry 半导体行业原子层刻蚀概述
相关领域
蚀刻（微加工）
半导体工业
纳米技术
原子层沉积
工程物理
半导体
微电子
限制
材料科学
反应离子刻蚀
硅
图层（电子）
工程类
光电子学
机械工程
制造工程
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| 其它 |
期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Keren J. Kanarik; Thorsten Lill; Eric A. Hudson; Saravanapriyan Sriraman; Samantha Tan; et al 出版日期：2015-03-01 |
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