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  Polarity Inversion of Aluminum Nitride Thin Films by using Si and MgSi Dopants Si和MgSi掺杂剂对氮化铝薄膜极性反转的研究
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期刊：Scientific Reports 作者：Sri Ayu Anggraini; Masato Uehara; Kenji Hirata; Hiroshi Yamada; Morito Akiyama 出版日期：2020-03-09 |
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