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标题
Reliability of parameters of associated base straight line in step height samples: Uncertainty evaluation in step height measurements using nanometrological AFM
台阶高度样品中相关基线参数的可靠性:使用纳米计量AFM测量台阶高度的不确定度评估
相关领域
纳米计量学 校准 计量学 测量不确定度 基础(拓扑) 直线(几何图形) 航程(航空) 可靠性(半导体) 尺寸计量学 光学 准确度和精密度 数学 材料科学 物理 统计 几何学 数学分析 复合材料 功率(物理) 量子力学
网址
DOI
10.1016/j.precisioneng.2005.03.002 doi
其它 期刊:Precision Engineering
作者:Ichiko Misumi; Satoshi Gonda; Tomizo Kurosawa; Yasushi Azuma; Toshiyuki Fujimoto; et al
出版日期:2005-07-13
求助人
兴奋笑天 在 2025-03-30 17:06:01 发布自天津,悬赏 10 积分
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