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 Improved Dielectric Constant and Leakage Current of ZrO$_{\text{2}}$-Based Metal–Insulator– Metal Capacitors by Si Doping Si掺杂提高ZrO$_{\text{2}}$基金属-绝缘体-金属电容器的介电常数和漏电流
相关领域
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Yuanbiao Li; Xinyi Tang; Songming Miao; Jinlan Peng; Guangwei Xu; et al 出版日期：2024-06-17 |
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