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Improved Dielectric Constant and Leakage Current of ZrO$_{\text{2}}$-Based Metal–Insulator– Metal Capacitors by Si Doping

电容器 电介质 兴奋剂 材料科学 高-κ电介质 金属 泄漏（经济） 绝缘体（电） 光电子学 金属绝缘体金属 凝聚态物理 电气工程 电子工程 电压 冶金 物理 工程类 经济 宏观经济学
作者
Yuanbiao Li,Xinyi Tang,Songming Miao,Jinlan Peng,Guangwei Xu,Xianqin Hu,Weiping Bai,Zhongming Liu,Di Lu,Shibing Long
出处
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-06-17 卷期号：71 (8): 4914-4919
标识
DOI：10.1109/ted.2024.3405396
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