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标题
Atomic Layer Deposition of Functional Layers for on Chip 3D Li‐Ion All Solid State Microbattery
片上三维锂离子全固态微电池功能层的原子层沉积
相关领域
材料科学 原子层沉积 纳米技术 薄膜 图层(电子) 锂(药物) 光电子学 平面的 计算机科学 医学 计算机图形学(图像) 内分泌学
网址
DOI
10.1002/aenm.201601402 doi
其它 期刊:Advanced Energy Materials
作者:Manon Létiche; Etienne Eustache; Jeremy Freixas; Arnaud Demortière; Vincent De Andrade; et al
出版日期:2017-01-01
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