Molecular dynamics simulation of abrasive characteristics and interfaces in chemical mechanical polishing

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标题	Molecular dynamics simulation of abrasive characteristics and interfaces in chemical mechanical polishing 化学机械抛光磨料特性和界面的分子动力学模拟相关领域粗糙度（岩土工程）分子动力学抛光磨料化学机械平面化材料科学振幅表面粗糙度基质（水族馆）振动纳米核糖学摩擦学机制（生物学）机械表面光洁度复合材料化学光学计算化学物理地质学声学海洋学量子力学
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943321...
DOI	10.1016/j.apsusc.2019.144676 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Van-Thuc Nguyen; Te-Hua Fang 出版日期：2019-11-20
求助人	大王在 2023-09-02 10:52:43 发布自陕西，悬赏 10 积分
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